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長変化に伴う前記投影光学系の光学特性の変化を補正する手段を含むことを特徴とする。【 0 0 0 9 】また、本願第3発明は、第1及び第2発明において、
JP 2011-195872 A 2011.10 (57)【要約】【課題】本発明は、ドライ洗浄方式において、表面を洗浄(剥離)しながら裏面も洗浄(剥離)できるマスク洗浄装置または洗浄方法を提供すること、あ …
【請求項4】 請求項3に記載の共焦点顕微鏡において、前記信号処理装置は、第1の光検出手段から出力される画像信号と第2の光検出手段から出力される画像信号との差分を形成する差分 …
導体検査装置。【請求項8】 前記筐体は、前記一対のガルバノミラーと光学的に接続可能な位置に設けられた光学素子を取り付けるための第2の取付部をさらに有し、 前記制御部は、前記 …
【特許請求の範囲】【請求項1】 レーザ発振器と、 前記レーザ発振器から出射されるレーザビームを偏向可能な第1偏向手段と、 前記レーザビームの光路上にて前記第1偏向手段と直列的 …
とが望ましい。このとき、第1及び第2の干渉部12、13における測定光路からの光が前記レンズを透過することにより、それぞれの光に対して 分散が生じる。ここで、上記レンズにおける透 …
導体検査装置。【請求項8】 前記筐体は、前記一対のガルバノミラーと光学的に接続可能な位置に設けられた光学素子を取り付けるための第2の取付部をさらに有し、 前記制御部は、前記 …
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